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半导体芯片洁净车间的要求

发布日期:2021-11-22 17:29 浏览次数:

        半导体芯片洁净车间的要求
 
        由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
        1、室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
        2、垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
        3、与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。
        4、洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值:
        5、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
        6、保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
        7、净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量。